核心參數(shù)：
儀器種類：原子力顯微鏡
樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：180mm*180mm
樣品尺寸：<500mm
定位檢測(cè)噪聲：X-Y<0.15nm RMS,Z=35pm RMS
產(chǎn)地類別：進(jìn)口儀器
Park Hivac 管理器
NX-Hivac 真空自動(dòng)控制
Hivac管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。
上等自動(dòng)化特點(diǎn)
NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)量。
配備電控載物臺(tái)的StepScan自動(dòng)化掃描
StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M(jìn)行編程從實(shí)現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)至用戶定義坐標(biāo)區(qū)域、進(jìn)針及重復(fù)掃描。如此可提高生產(chǎn)率，減少用戶輸入。
電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)
Park電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)使用戶無需輸入即可無縫銜接自動(dòng)化測(cè)量例程。憑借著預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，在更換探針時(shí)激光已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn)，達(dá)到較好位置。
提高精度和生產(chǎn)率
NX-Hivac即是精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡，同時(shí)也是用于故障分析的簡(jiǎn)單方便的原子力顯微鏡之一。Park
NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結(jié)果。
閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
利用兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個(gè)掃描范圍內(nèi)的離面運(yùn)動(dòng)距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測(cè)量。
低噪聲XYZ軸位置傳感器
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器功能，可準(zhǔn)確測(cè)量樣本形貌，同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。
24位數(shù)字電子控制器
我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True
Non-Contact）模式?？刂破骶哂械驮肼曉O(shè)計(jì)和高速處理部件，是精密電壓和電流測(cè)量及納米級(jí)成像的較佳之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數(shù)字信號(hào)處理特點(diǎn)，用戶可輕松地分析測(cè)量值和成像。
